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Educaiton and Control of Nano-topography Mechanism in Ultrafine Fabrication
超精细制造中纳米形貌机制的教育与控制
基本信息
- 批准号：21760584
- 负责人：
- 金额：$ 2.83万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
- 财政年份：2009
- 资助国家：日本
- 起止时间：2009 至 2011
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
Polymer structure effects on the dissolution kinetics and deprotection reaction were investigated to understand inherent extreme ultraviolet(EUV) resist characteristics. Also, the evaluation of resist profile for EUV chemically amplified resists was performed by using PROLITH and parameters obtained with EUV exposure tool. We could obtain EUV resist design for next generation lithography.
研究了聚合物结构对溶解动力学和脱保护反应的影响，以了解其固有的极端紫外线(EUV)抗蚀剂特性。此外，还利用PROLITH和EUV曝光工具获得的参数对EUV化学放大抗蚀剂的抗蚀剂轮廓进行了评估。我们可以获得用于下一代光刻的EUV抗蚀剂设计。
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Disolution Kinetics and Deprotection Reaction in Chemically Amplified EUV Resists
化学放大 EUV 光刻胶中的溶解动力学和脱保护反应
- DOI：
- 发表时间：2011
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：^1Shingo KAWARA;Hiroyuki KOIZUMI;Hiroyuki KOUSAKA;et.al.;M.Shahien;Hiroki Yamamoto
- 通讯作者：Hiroki Yamamoto
Dissolution Kinetics in Chemically Amplified EUV Resist
化学放大 EUV 光刻胶的溶解动力学
- DOI：10.2494/photopolymer.24.405
- 发表时间：2011
- 期刊：
- 影响因子：0.8
- 作者：H. Yamamoto;T. Kozawa;S. Tagawa T. Ando;K. Ohmori;M. Sato;and J. Onodera
- 通讯作者：and J. Onodera
Characterization of EUV irradiati on effects on Polystyrene Derivatives Studied by X-ray Photoelectron Spectroscopy(XPS) and Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy(UPS)
用X射线光电子能谱(XPS)和紫外光电子能谱(UPS)表征EUV辐照对聚苯乙烯衍生物的影响
- DOI：10.1117/12.879303
- 发表时间：2011
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：H. Yamamoto;T. Kozawa;and S. Tagawa
- 通讯作者：and S. Tagawa
化学増幅型EUVレジストにおける脱保護反応
化学放大 EUV 抗蚀剂中的脱保护反应
- DOI：
- 发表时间：2009
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Taichi Nishida;Tomo Ogura;Mitsuo Fujimoto;Akio Hirose;山本洋揮
- 通讯作者：山本洋揮
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12306004 - 财政年份：2000
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相似海外基金
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24H02574 - 财政年份：2024
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23KJ1531 - 财政年份：2023
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$ 2.83万 - 项目类别：
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- 批准号：
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- 批准号：
21J13665 - 财政年份：2021
- 资助金额：
$ 2.83万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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- 批准号：
21J13108 - 财政年份：2021
- 资助金额：
$ 2.83万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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- 资助金额：
$ 2.83万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
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21K04144 - 财政年份：2021
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$ 2.83万 - 项目类别：
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21K18197 - 财政年份：2021
- 资助金额：
$ 2.83万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Research (Pioneering)