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Educaiton and Control of Nano-topography Mechanism in Ultrafine Fabrication

Educaiton and Control of Nano-topography Mechanism in Ultrafine Fabrication
超精细制造中纳米形貌机制的教育与控制
批准号：
21760584
负责人：
YAMAMOTO Hiroki
金额：
$2.83万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2009
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2009 至 2011
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21760584/
关键词：
材料・加工処理リソグラフィ量子ビームナノ材料半導体超微細化

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
研究了聚合物结构对溶解动力学和脱保护反应的影响，以了解固有的极紫外（EUV）抗蚀剂特性。此外，EUV化学放大抗蚀剂的抗蚀剂轮廓的评价是通过使用PROLITH和EUV曝光工具获得的参数进行的。我们可以获得下一代光刻机的EUV抗蚀剂设计。
英文摘要
Polymer structure effects on the dissolution kinetics and deprotection reaction were investigated to understand inherent extreme ultraviolet(EUV) resist characteristics. Also, the evaluation of resist profile for EUV chemically amplified resists was performed by using PROLITH and parameters obtained with EUV exposure tool. We could obtain EUV resist design for next generation lithography.
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会议论文
Disolution Kinetics and Deprotection Reaction in Chemically Amplified EUV Resists
化学放大 EUV 光刻胶中的溶解动力学和脱保护反应
DOI： --
发表时间： 2011
期刊：
影响因子： --
作者： [^1Shingo KAWARA, Hiroyuki KOIZUMI, Hiroyuki KOUSAKA, et.al., M.Shahien, Hiroki Yamamoto]
通讯作者： Hiroki Yamamoto
Dissolution Kinetics in Chemically Amplified EUV Resist
化学放大 EUV 光刻胶的溶解动力学
DOI： 10.2494/photopolymer.24.405
发表时间： 2011
期刊： Journal of Photopolymer Science and Technology
影响因子： 0.8
作者： [H. Yamamoto, T. Kozawa, S. Tagawa T. Ando, K. Ohmori, M. Sato, and J. Onodera]
通讯作者： and J. Onodera
EUV化学増幅レジストの現像解析
EUV化学放大型光刻胶的发展分析
DOI： --
发表时间： 2011
期刊：
影响因子： --
作者： [山本洋揮]
通讯作者： 山本洋揮
Characterization of EUV irradiati on effects on Polystyrene Derivatives Studied by X-ray Photoelectron Spectroscopy(XPS) and Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy(UPS)
用X射线光电子能谱(XPS)和紫外光电子能谱(UPS)表征EUV辐照对聚苯乙烯衍生物的影响
DOI： 10.1117/12.879303
发表时间： 2011
期刊： Proceeding of SPIE Advances in Resist Materials and Processing Tehcnology XXVII
影响因子： --
作者： [H. Yamamoto, T. Kozawa, and S. Tagawa]
通讯作者： and S. Tagawa
共 8 条
    Social determinants of absenteeism from classrooms
    • 批准号：
      24830083
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Research Activity Start-up
    • 资助金额：
      $1.91万
    • 财政年份：
      2012
    • 负责人：
      YAMAMOTO Hiroki
    • 依托单位：
      Tokyo University of Science
    An empirical study on signaling effects supporting high school students for their learning of the ethics textbook.
    • 批准号：
      23530877
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.24万
    • 财政年份：
      2011
    • 负责人：
      YAMAMOTO Hiroki
    • 依托单位：
      Ritsumeikan University
    Elucidation of localization mechanism of the cell surface proteins in bacteria
    • 批准号：
      23580107
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.49万
    • 财政年份：
      2011
    • 负责人：
      YAMAMOTO Hiroki
    • 依托单位：
      Shinshu University
    The study of visual awareness mechanisms for colored patterns in the human visual cortex
    • 批准号：
      22530793
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $1.58万
    • 财政年份：
      2010
    • 负责人：
      YAMAMOTO Hiroki
    • 依托单位：
      Kyoto University
    海外基金