Infrared metrology based on silicon wave guides for environment monitoring

ZIELL DES Vorhabens ist der Entwurf，die Realisierung and Untersusuung eines Infrarot-me？Systems，das die solchen Systen Bisher inh？renten nachteile einer gerisch Langen kollimierten me？Strecke MIT Relativaufwendigzu realisierenden fokussierenden Spiegeln zur Faltung des me？strahlong anges veridet.这是一种新的技术和技术，但不能满足客户的需求，不能满足客户需求。在Solchen Wellenleitern möglichen geringen KrümmungsRadien and die kleinen Wellenleiterallschnitte ermöglichen eine spiralförMice e Führung des Lichtweges中，Soçauf sehr kleinen FläChen lange AbsorptionSwege erzielt wen den können。这是一个重要的系统，与之相关的是几何尺寸和大小的蒙太奇-蒙太奇。在此基础上，我们建立了一个完整的信息系统和一个完整的信息系统。

Ziel des Vorhabens ist der Entwurf, die Realisierung und Untersuchung eines integriert-optischen Infrarot-Meßsystems, das die solchen Systemen bisher inhärenten Nachteile einer geometrisch langen kollimierten Meßstrecke mit relativ aufwendig zu realisierenden fokussierenden Spiegeln zur Faltung des Meßstrahlenganges vermeidet. Das Meßsystem basiert auf in oberflächennaher Volumen-Mikromechanik aus Silizium mit Hilfe von Plasmaätzverfahren freitragend herausstrukturierten integriert optischen Infrarotwellenleitern, deren evaneszente Felder mit charakteristischen Absorptionen von Schadgasen im Bereich von 4µm und 9µm wechselwirken. Die aufgrund der guten Führung in solchen Wellenleitern möglichen geringen Krümmungsradien und die kleinen Wellenleiterquerschnitte ermöglichen eine spiralförmige Führung des Lichtweges, so daß auf sehr kleinen Flächen lange Absorptionswege erzielt werden können. Damit lassen sich die wesentlichen Nachteile gegenwärtiger IR-Gasmeßsysteme, die relativ großen geometrischen Dimensionen und der hohe Montage- und Justieraufwand vermeiden. Durch Integration der Strahlungsquelle mit dem Wellenleiter an seinem Ausgang und Ankopplung einer IR-Detektorzeile soll das System zu einem vollständig integrierten IR-Meßsystem erweitert werden.