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Remote plasma etching system for fabrication nanostructures
用于制造纳米结构的远程等离子体蚀刻系统
基本信息
- 批准号：195644-1997
- 负责人：
- 金额：$ 20.54万
- 依托单位：
- 依托单位国家：加拿大
- 项目类别：Research Tools and Instruments - Category 2 ($150,000 - $325,000)
- 财政年份：1997
- 资助国家：加拿大
- 起止时间：1997-01-01 至 1998-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
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项目成果
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Young, Jeff其他文献
Major drivers of healthcare system costs and cost variability for routine atrial fibrillation ablation.
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10.1016/j.hroo.2022.12.014 - 发表时间：
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Steinberg, Benjamin A.
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Silicon Photonic Circuits for Quantum Information Processing
用于量子信息处理的硅光子电路
- 批准号：
RGPIN-2017-04686 - 财政年份：2021
- 资助金额：
$ 20.54万 - 项目类别：
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Silicon Photonic Circuits for Quantum Information Processing
用于量子信息处理的硅光子电路
- 批准号：
RGPIN-2017-04686 - 财政年份：2020
- 资助金额：
$ 20.54万 - 项目类别：
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Photonic wirebonds for continuous variable photonic quantum computing using integrated silicon nitride platform****
使用集成氮化硅平台进行连续可变光子量子计算的光子键合****
- 批准号：
537387-2018 - 财政年份：2018
- 资助金额：
$ 20.54万 - 项目类别：
Engage Grants Program
Quantum oscillators for cavity electrodynamics in CMOS compatible silicon photonic chips
用于 CMOS 兼容硅光子芯片中腔电动力学的量子振荡器
- 批准号：
138676-2012 - 财政年份：2016
- 资助金额：
$ 20.54万 - 项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
Quantum oscillators for cavity electrodynamics in CMOS compatible silicon photonic chips
用于 CMOS 兼容硅光子芯片中腔电动力学的量子振荡器
- 批准号：
138676-2012 - 财政年份：2015
- 资助金额：
$ 20.54万 - 项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
Quantum oscillators for cavity electrodynamics in CMOS compatible silicon photonic chips
用于 CMOS 兼容硅光子芯片中腔电动力学的量子振荡器
- 批准号：
138676-2012 - 财政年份：2014
- 资助金额：
$ 20.54万 - 项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
Quantum oscillators for cavity electrodynamics in CMOS compatible silicon photonic chips
用于 CMOS 兼容硅光子芯片中腔电动力学的量子振荡器
- 批准号：
138676-2012 - 财政年份：2013
- 资助金额：
$ 20.54万 - 项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
Development and Validation of a Nanophotonics Simulation Toolbox
纳米光子学仿真工具箱的开发和验证
- 批准号：
413366-2011 - 财政年份：2013
- 资助金额：
$ 20.54万 - 项目类别：
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Quantum oscillators for cavity electrodynamics in CMOS compatible silicon photonic chips
用于 CMOS 兼容硅光子芯片中腔电动力学的量子振荡器
- 批准号：
138676-2012 - 财政年份：2012
- 资助金额：
$ 20.54万 - 项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
Development and Validation of a Nanophotonics Simulation Toolbox
纳米光子学仿真工具箱的开发和验证
- 批准号：
413366-2011 - 财政年份：2012
- 资助金额：
$ 20.54万 - 项目类别：
Strategic Projects - Group
相似国自然基金
旁轴式plasma-pulsed MIG复合焊电弧、熔滴、贯穿小孔和熔池的耦合机理
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Probing quark gluon plasma by heavy quarks in heavy-ion collisions
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- 批准年份：2010
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大气下利用微波等离子体处理粮食的实验研究
- 批准号：50477005
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Theoretical Investigation and Design of Thermochemical and Plasma-Assisted Etching of Diamond Surfaces
金刚石表面热化学和等离子体辅助蚀刻的理论研究和设计
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23KJ1431 - 财政年份：2023
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等离子刻蚀技术原子控制工程创新，构建理论、计算和测量协作环境
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21H01073 - 财政年份：2021
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Elucidation of plasma-induced defect generation mechanism during atomic layer etching
阐明原子层蚀刻过程中等离子体引起的缺陷产生机制
- 批准号：
20K14453 - 财政年份：2020
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Elucidation of plasma-assisted atomic layer etching (ALE) mechanism for magnetic materials using organic gas
使用有机气体阐明磁性材料的等离子体辅助原子层蚀刻（ALE）机制
- 批准号：
20J10393 - 财政年份：2020
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3次元積層デバイス開発為の分子動力学計算によるプラズマエッチング反応の解析
使用分子动力学计算分析等离子体蚀刻反应以开发 3D 堆叠器件
- 批准号：
20J20961 - 财政年份：2020
- 资助金额：
$ 20.54万 - 项目类别：
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ICP等离子蚀刻系统
- 批准号：
428016069 - 财政年份：2019
- 资助金额：
$ 20.54万 - 项目类别：
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Surface reaction mechanisms for plasma enhanced atomic layer etching process by organic compounds
有机化合物等离子体增强原子层刻蚀工艺的表面反应机制
- 批准号：
18K13532 - 财政年份：2018
- 资助金额：
$ 20.54万 - 项目类别：
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- 批准号：
414743279 - 财政年份：2018
- 资助金额：
$ 20.54万 - 项目类别：
Major Research Instrumentation
Plasma-based synthesis and etching of innovative materials at the nanoscale
纳米级创新材料的等离子体合成和蚀刻
- 批准号：
RGPIN-2014-04697 - 财政年份：2018
- 资助金额：
$ 20.54万 - 项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
Plasma-based synthesis and etching of innovative materials at the nanoscale
纳米级创新材料的等离子体合成和蚀刻
- 批准号：
RGPIN-2014-04697 - 财政年份：2017
- 资助金额：
$ 20.54万 - 项目类别：
Discovery Grants Program - Individual