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Remote plasma etching system for fabrication nanostructures

Remote plasma etching system for fabrication nanostructures
用于制造纳米结构的远程等离子体蚀刻系统
批准号：
195644-1997
负责人：
Young, Jeff
金额：
$20.54万
依托单位：
University of British Columbia
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
Research Tools and Instruments - Category 2 ($150,000 - $325,000)
财政年份：
1997
资助国家：
加拿大
项目状态：
已结题
起止时间：
1997-01-01 至 1998-12-31
来源：
https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=111519
关键词：
Remoteplasmaetchingsystemfabrication

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Silicon Photonic Circuits for Quantum Information Processing
  • 批准号：
    RGPIN-2017-04686
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $6.7万
  • 财政年份：
    2021
  • 负责人：
    Young, Jeff
  • 依托单位：
    University of British Columbia
Silicon Photonic Circuits for Quantum Information Processing
  • 批准号：
    RGPIN-2017-04686
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $3.35万
  • 财政年份：
    2020
  • 负责人：
    Young, Jeff
  • 依托单位：
    University of British Columbia
Photonic wirebonds for continuous variable photonic quantum computing using integrated silicon nitride platform****
  • 批准号：
    537387-2018
  • 项目类别：
    Engage Grants Program
  • 资助金额：
    $1.82万
  • 财政年份：
    2018
  • 负责人：
    Young, Jeff
  • 依托单位：
    University of British Columbia
Quantum oscillators for cavity electrodynamics in CMOS compatible silicon photonic chips
  • 批准号：
    138676-2012
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $3.57万
  • 财政年份：
    2016
  • 负责人：
    Young, Jeff
  • 依托单位：
    University of British Columbia
国内基金
海外基金
旁轴式plasma-pulsed MIG复合焊电弧、熔滴、贯穿小孔和熔池的耦合机理
  • 批准号：
    52105324
  • 项目类别：
    青年科学基金项目（C类）
  • 资助金额：
    30.0万元
  • 批准年份：
    2021
  • 负责人：
    吴东升
  • 依托单位：
    广东工业大学
Probing quark gluon plasma by heavy quarks in heavy-ion collisions
  • 批准号：
    11805087
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    30.0万元
  • 批准年份：
    2018
  • 负责人：
    Santosh Kumar
  • 依托单位：
    兰州大学
白癜风血浆microRNA潜在标志物筛选及调控机制研究
气体循环直流旋转电弧等离子体喷射动态气相环境下生长金刚石大单晶研究
  • 批准号：
    51102013
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    25.0万元
  • 批准年份：
    2011
  • 负责人：
    黑立富
  • 依托单位：
    北京科技大学