Beiträge zur Erhöhung der Genauigkeit kohärent-optischer Messungen unter Berücksichtigung von Phasensingularitäten

在众多的光学测量技术中，我们可以测量物体的尺寸。Die Abbildung eines kohärent beleuchteten Objektes führt naturgemäß zum Auftreten von subjektiven Speckles。他们没有工作，但他们用电脑工作，就像Z.B.一样。在现代数字全息技术的基础上，或者在经典的林森系统中，我们可以看到。该斑点通过增强的参数如图像或图片变化而变得更大，这是由于斑点的检验在非传统艺术和视觉中对测量质量的影响。小斑点需要一个大的侧面凸起和一个测量装置。因此，通过对传感器组件的测量，不会产生大量的散斑，这些散斑会对测量结果产生负面影响。在工作过程中，我们可以从调制过程中的传感器元件中获得更多的斑点。这一阶段的影响力并不明显。Desweiteren ist auch der Meßbereich abhängig von der Specklegröße。面外测量有一个散斑Z. B.一个简单的关系和一个对Folge的测量的检验。Um eine Präzisionsteigerung in interferometrischen Messungen zuerzielen，is also notwendig，die Aufnahme parameters optimal and die Randbedingungen der jeweiligen Messungen anzupassen.我们是一伙的。基本上，这些影响来自于斯派克尔对共同相位的影响。这一发现只能使斯派克斯在中部地区的秋天更加壮观，而在秋天也会使斯派克斯更加壮观。Insgesamt soll die Möglichkeit eine ganzheitlichen Optimierung der lateralen Auflösung，des Meßbereichs und der Phasenmeßfehler untersucht韦尔登.

In vielen kohärent-optischen Meßtechniken wird das zu untersuchende Objekt abgebildet. Die Abbildung eines kohärent beleuchteten Objektes führt naturgemäß zum Auftreten von subjektiven Speckles. Hierbei spielt es keine Rolle, ob die Abbildung mit Hilfe eines Computers erzeugt wurde, wie es z.B. bei der modernen digitalen Holographie der Fall ist, oder ob ein klassisches Linsensystem verwendet wurde. Die Specklegröße läßt sich durch Aufnahmeparameter wie Apertur oder Bildweite variieren, wobei das Verändern der Specklegröße die Qualität der Messung in unterschiedlicher Art und Weise beeinflußt. Kleinere Speckles bedeuten prinzipiell eine größere laterale Auflösung und somit eine Verbesserung der Messung. Jedoch treten bei nicht voll aufgelösten Speckles durch die Ausdehnung der Sensorelemente Mittelungseffekte auf, die sich negativ auf die Meßgenauigkeit auswirken. In vorangegangenen Arbeiten wurde untersucht welchen Einfluß die Mittelung von mehreren Speckles pro Sensorelement auf die Modulation hat. Der Einfluß der Mittelung auf die gemessene Phase wurde in diesen Untersuchungen jedoch nicht berücksichtigt. Desweiteren ist auch der Meßbereich abhängig von der Specklegröße. Bei out-of-plane Messungen hat eine Verkleinerung der Speckles z.B. eine schnellere Dekorrelation und somit eine Verschlechterung der Messung zur Folge. Um eine Präzisionsteigerung in interferometrischen Messungen zu erzielen, ist es also notwendig, die Aufnahmeparameter optimal an die Randbedingungen der jeweiligen Messung anzupassen. Hierzu sind u.a. Grundlagenuntersuchungen zum Einfluß der Mittelung von Speckles auf die gemessenen Phasenwerte notwendig. Die Untersuchungen sollen sich sowohl auf den Fall der Mittelung mehrerer Speckles, als auch auf den Fall voll aufgelöster Speckles beziehen. Insgesamt soll die Möglichkeit eine ganzheitlichen Optimierung der lateralen Auflösung, des Meßbereichs und der Phasenmeßfehler untersucht werden.