Diffusion high vacuum pump with integrated pressure monitoring in microsystem technology

在Mikrosystem Technik中，Zil des Vorhabens ist der Entwurf，die Realisierung and die Untersuung einer Hochvakuumump pe，die auf Dem Prince zip der Treibmittelumpe arbeitet，im Makroskopischen eines der Klassischen Hochvakuum-Pumpsystem e。在Mikrokanälen Lassen Sich Damit Langzeit稳定的Pumpsystem e Aufbauen，MIT Denen der Druckbereich von Norinaldruck bis下的Mikrokanälen Lassen Lassen sich Damit Langzeit稳定的Pumpsystem e Aufbauen，MIT Denen der Druckbereich von Norinaldruck bis Under LPA Zugänglich sein wird。他说：“这是一件非常重要的事情，因为它是一件非常重要的事情。在阳极板上，我们可以看到，GGF的存在。这样一来，LIGA-Verfahren Verwren和Ten Metallologie Lassen-Technologie Lassen Sich Die System e thermischen hochvakuumdicht auch be groüen thermischen GRadienten verschlieéen die be beheizten and Gekühlten Bereiche eines solchen Systems wirksam thermisch entkoppeln，so dass auf stm raum and MIT sehr sehr kleinen Heizleistungen Heizleistungen Hohe Pumprten erwartet.在Ausnutzung der Kapillarkräfte des Treibmittels auf Geeignet Dimensionierten and Beschichteten Rüchichteten Rück flusskanälen is a许eine eine cine Sinine Soch-und Niederdruckseite Möglich.Afgrund des vorgesehenen Aufbaus sind Diese系统技术是麻省理工学院的典型分析系统。在卡斯卡德的现实和未来与未来的平行顺序中，我的方法是，我的系统和德鲁克和德鲁克安帕森。在Kompatibler Technologie Ingrert和Kompressionsverhältennis Weer gesteigert中，您可以从Kompatibler Technologie Intigrert和Do das Kompressionsverhältns Weer gesteigert中找到更好的选择。在Das Pumpsystem中的集成将来自于Hoch-und der Niederdruckseite珠宝店的基础是Wärmeleitungsdetektors，嗯，所以Ohne weitere Peripherie and Totvolumina eine Druck-und Funktionskontrolle zu gewährleisten.

Ziel des Vorhabens ist der Entwurf, die Realisierung und die Untersuchung einer Hochvakuumpumpe in Mikrosystemtechnik, die auf dem Prinzip der Treibmittelpumpe arbeitet, im Makroskopischen eines der klassischen Hochvakuum-Pumpsysteme. Aufgrund der Venneidung von bewegten Teilen und der Nutzung der Eigenschaften der laminaren Strömungsausbildung in Mikrokanälen lassen sich damit langzeitstabile Pumpsysteme aufbauen, mit denen der Druckbereich von Norinaldruck bis unter lPa zugänglich sein wird. Als Treibmittel können die auch in makroskopischen Systemen eingesetzten synthetischen Öle benutzt werden, insbesondere niederviskose Medien. Aufgrund der Realisierung in anodisch gebondeter, hermetisch dichter Silizium-Glas-, ggf. auch einer dem LIGA-Verfahren verwandten MetallGlas-Technologie lassen sich die Systeme hochvakuumdicht auch bei großen thermischen Gradienten verschließen und die beheizten und gekühlten Bereiche eines solchen Systems wirksam thermisch entkoppeln, so dass auf engstem Raum und mit sehr kleinen Heizleistungen hohe Pumpraten erwartet werden. Unter Ausnutzung der Kapillarkräfte des Treibmittels auf geeignet dimensionierten und beschichteten Rückflusskanälen ist auch eine sichere Abdichtung zwischen Hoch- und Niederdruckseite möglich. Aufgrund des vorgesehenen Aufbaus sind diese Systeme technologisch auch mit typischen Mikroanalysesystemen kompatibel. Sie lassen sich mehrfach in der Ebene parallel oder in Kaskade realisieren und betreiben und damit auf die spezifischen Anforderungen solcher Mikrosysteme bezüglich Saugleistung und Druck anpassen. Falls erforderlich kann außerdem auf der Hochdruckseite z.B. eine Membranpumpe in kompatibler Technologie integriert und so das Kompressionsverhältnis weiter gesteigert werden. Integriert in das Pumpsystem wird auf der Hoch- und der Niederdruckseite jeweils ein Druckmesssystem auf Basis eines Wärmeleitungsdetektors, um so ohne weitere Peripherie und Totvolumina eine Druck- und Funktionskontrolle zu gewährleisten.