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Engineering Research Equipment Grant: Epitaxial Reactor

Engineering Research Equipment Grant: Epitaxial Reactor
工程研究设备资助：外延反应器
批准号：
8506506
负责人：
George Collins
金额：
$6.8万
依托单位：
Colorado State University
依托单位国家：
美国
项目类别：
Standard Grant
财政年份：
1985
资助国家：
美国
项目状态：
已结题
起止时间：
1985-09-01 至 1987-02-28
来源：
https://www.nsf.gov/awardsearch/showAward?AWD_ID=8506506&HistoricalAwards=false
关键词：
EngineeringResearchEquipmentGrantEpitaxial

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A special apparatus modified from a special epitaxial growth system will be built to investigate electron- and photon-beam assisted epitaxy of Si and III-V materials. This is a field of a critical nature, with the potential for a major impact on electronic materials studies.
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Higher Fidelity Etch Profiles and Reduced Charge Damage in Integrated Circuit Manufacturing by Neutralizing Charge Imbalances During Plasma Etch
  • 批准号：
    0097061
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $21.0万
  • 财政年份：
    2001
  • 负责人：
    George Collins
  • 依托单位：
    Colorado State University
Cylindrical Algebraic Decomposition and Quantifier Elimination
  • 批准号：
    9712246
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $9.51万
  • 财政年份：
    1997
  • 负责人：
    George Collins
  • 依托单位：
    University of Delaware
Electron Beam Curing and Planarization of Spin-on Glass
  • 批准号：
    9720292
  • 项目类别：
    Continuing Grant
  • 资助金额：
    $31.1万
  • 财政年份：
    1997
  • 负责人：
    George Collins
  • 依托单位：
    Colorado State University
U.S.-Japan Cooperative Science: Exploring Electron Beam Assisted ALE and P-Type Conductivity Control of III-V Nitrides
  • 批准号：
    9512857
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $2.08万
  • 财政年份：
    1996
  • 负责人：
    George Collins
  • 依托单位：
    Colorado State University
国内基金
海外基金
Research on Quantum Field Theory without a Lagrangian Description
  • 批准号：
    24ZR1403900
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2024
  • 负责人：
    SATOSHI NAWATA
  • 依托单位：
    复旦大学
Cell Research
Cell Research
Cell Research (细胞研究)