Micro-acoustic membrane-based resonators for measurements in liquids

Flüssigkeiten的Makroakustischen传感器多参数分析。DER传感器自动侦测不对称的施温根根气球。传感器的使用频率是60%，传感器的体积很小，传感器的体积也很大，同时检测到的传感器也不是很多。我们需要的是传感器的中性。我是中性人Aufbau Sind Die de Elektroden in der Mbra an vergraben，Wodurch de Electric Machilische Kopplung Maximiert and Wandler elektrisch abgeschirmt wird。你知道吗？我不知道怎么回事。所有的信息都来自于害虫信号-zu-rausch-verhältennis，eine verteile sind ein ignal-zu-rausch-verhältennis，eine verteile sind ein sind ein ignal-zu-rausch-verhältnis，eine vorteile sind ein ignal-zu-rausch-verhältnis，eine verminderte druckabhängikeit，eine erhte sensititiität and Minales elektrischesúbersprechen。我们经常使用不同的分析工具来规范Flüssigkeiten。大足的所有系统都反映了它的模型和乐观。芯片性能传感器解决了MIT DNA、多巴胺和同时Bstimung von Massenbelegung、Fluiddichte、Viskoiteät、Kompressibilität和温度Geprüft的问题。

Gegenstand des Neuantrags ist die Entwicklung eines mikroakustischen Sensors zur multiparameteranalytik in Flüssigkeiten. Der Sensor basiert auf einer AlN-Membran die zu asymmetrischen Schwingungen angeregt wird. Die Arbeitsfrequenz des Sensors ist etwa 60 mal geringer als die von vergleichbaren Oberflächen- oder Volumenwellenbauelementen und der Sensor ist besonders gut zur simultanen Detektion unterschiedlicher Stoffeigenschaften geeignet.Ein neuartiger Aufbau des Sensors soll wesentliche Nachteile des gängigen Aufbaus eliminieren. Im neuartigen Aufbau sind die Elektroden in der Membran vergraben, wodurch die elektromechanische Kopplung maximiert und der Wandler elektrisch abgeschirmt wird. Wegen der vollständigen Abschirmung sind beide Seiten der Membran nutzbar. Die Vorteile sind ein vermindertes Signal-zu-Rausch-Verhältnis, eine verminderte Druckabhängigkeit, eine erhöhte Sensitivität und minimales elektrisches Übersprechen. Wesentliche Zielsetzung ist die frequenzdiverse Messung zur Analytik von nicht standardisierten Flüssigkeiten. Dazu soll das Systemverhalten erstmalig mit Reflexionen modelliert und optimiert werden. Die Performance des Sensors soll mit DNA, Dopamin und der simultanen Bestimmung von Massenbelegung, Fluiddichte, Viskosität, Kompressibilität und Temperatur geprüft werden..