Entwurf und integriert-optische Realisierung eines abstimmbaren Ti:Saphir-lasers

ZIELL DES Vorhabens ist der Entwurf，die Realisierung and Untersusuung eines Engriert-Optischen Ti：Sphir-Lasters ALS Mikrosystem.Dieser Lasertyp，Bisher aufgebaut Aus Makroskopischen Elementen，kann in einem Wellenlängenbereich von 600 bis 1000 nm berieben.在这项技术的基础上，建立了一个小型、集成的系统。在Einem PEVCD-prozeçtidotierten Aluminiumoxid wulst-Wellenleiter abgeschieden中，Dazu在Silizium erzeugten GräBen Aus金属组织Verbindungen Verbindungen的血浆中被氧化。在德国的国家和地区，所有的国家都有自己的国家和地区。这句话的意思是：“我不知道怎么回事，我不知道怎么回事。从弹性角度来看，这是一种非常好的选择。

Ziel des Vorhabens ist der Entwurf, die Realisierung und Untersuchung eines integriert-optischen Ti:Saphir-Lasers als Mikrosystem. Dieser Lasertyp, bisher aufgebaut aus makroskopischen Elementen, kann in einem Wellenlängenbereich von 600 bis 1000 nm betrieben werden. In diesem Vorhaben soll auf der Basis von bereits erprobten Strukturen und technologischen Verfahren ein miniaturisiertes, integriert-optisches System entstehen. Dazu werden in thermisch oxidierten durch Plasmaätzverfahren in Silizium erzeugten Gräben aus metallorganischen Verbindungen in einem PEVCD-Prozeß titandotierten Aluminiumoxid Wulst-Wellenleiter abgeschieden. Dieser Wellenleitertyp zeichnet sich durch besonders niedrige Dämpfung, verlustarme Führung auch in Strukturen mit engen Krümmungsradien aus und vermeidet geätzte Strukturkanten im lichtführenden Bereich. Zur Ankopplung von Fasern für Pump- und Laserlicht sind Übergangs- und Taperstrukturen zwischen Wulst- und streifenbelasteten Wellenleitern mit Hilfe lokaler Abschattungen bei der Beschichtung zu realisieren. Die Abstimmung der Laserwellenlänge kann sowohl thermisch wie elastooptisch erfolgen.