Herstellung und Charakterisierung der ferroelektrischen Schichten Strontium-Bismut-Tantalat aus Ein- und Zweikomponenten-Precursoren

在一种新的化学气相沉积方法中，用锶铋钽（=SBT，SrBi 2 Ta 2 O 9）作为铁电材料的前处理剂。更重要的是，我们不知道金属组织的材料是否具有良好的特性和韦尔登。在金属有机前驱体中，铋和钽的烷基、醇盐和酰胺具有特殊的取代性，可取代锶的环戊二烯基络合物。Aufgrund ihrer veränderbaren permanenten Polarisation，ihrer hohen Dielektrizitätskonstanten，ihrer Zyklusfestigkeit und ihrer pyro- und piezoelektrischen Eigenschaften haben die ferroelektrischen Schichten aus Strontium-Bismut-Tantalat（SBT）ein hohes Anwendungspotential für hoch integrierte，nicht flüchtige ferroelektrische dynamische Speicher und Sensor-Aktor-Systeme.一个前处理的Anlage soll der Schichtabscheidungsprozezeentwickelt and die erzeugten Schichten hinsichtlich ihrer chemischen Zusammensetzung in Abhängigkeit von der Prozeßführung untersucht韦尔登.基本上，这是一个非常重要的金属组织工程，它具有非常好的组织结构，可以通过特定的质量控制来实现。在化学合成中，解决了Schichten的微结构问题，机械和光学问题也解决了电气特性的韦尔登。因此，在一个工人的旁边，Schicht breiten Raum的横向结构上的铁电特性的Abhängigkeit。

Im Rahmen des beantragten Vorhabens sollen ferroelektrische Schichten bestehend aus Strontium-Bismut-Tantalat (=SBT, SrBi2Ta2O9) in einer chemischen Gasphasenabscheidung unter Verwendung neu zu entwickelnder bzw. bisher nicht verwendeter metallorganischer Ausgangsmaterialien niedergeschlagen und charakterisiert werden. Bei den metallorganischen Precursoren sollen insbesondere leicht flüchtige Alkyle, Alkoxide und Amide des Bismuts und Tantals sowie speziell substituierte Cyclopentadienylkomplexe des Strontiums zum Einsatz kommen. Aufgrund ihrer veränderbaren permanenten Polarisation, ihrer hohen Dielektrizitätskonstanten, ihrer Zyklusfestigkeit und ihrer pyro- und piezoelektrischen Eigenschaften haben die ferroelektrischen Schichten aus Strontium-Bismut-Tantalat (SBT) ein hohes Anwendungspotential für hoch integrierte, nicht flüchtige ferroelektrische dynamische Speicher und Sensor-Aktor-Systeme. An einer vorhandenen Anlage soll der Schichtabscheidungsprozeß entwickelt und die erzeugten Schichten hinsichtlich ihrer chemischen Zusammensetzung in Abhängigkeit von der Prozeßführung untersucht werden. Besonders umfangreich ist die Eignung möglicher metallorganischer Prozessoren in Verbindung mit entsprechenden Versorgungssystemen zu untersuchen, um mit definierten Massenflüssen der einzelnen Komponenten reproduzierbare Schichten zu gewährleisten. Neben der chemischen Zusammensetzung sollen die Mikrostruktur der Schichten, die mechanischen und optischen sowie die elektrischen Eigenschaften untersucht werden. Zudem wird die Abhängigkeit der ferroelektrischen Eigenschaften von der lateralen Strukturgröße der Schicht breiten Raum bei den Arbeiten einnehmen.