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Development of High-speed Gas Flow Debris Shielding Technology for Discharge Produced Plasma Light Source

Development of High-speed Gas Flow Debris Shielding Technology for Discharge Produced Plasma Light Source
放电等离子体光源高速气流碎片屏蔽技术开发
批准号：
19560282
负责人：
WATANABE Masato
金额：
$2.91万
依托单位：
Tokyo Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2007
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2007 至 2008
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19560282/
关键词：
放電プラズマEUV流体工学デブリ

项目摘要

项目成果

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気体放電を用いたEUV光源の効果的なデブリシールド法として, 超音速ノズルおよびディフューザから構成される超音速ガス流方式を提案し, その有用性を実験的に検証することを目的として研究を実施した.真空環境下での安定した超音速流の発生法と, ディフューザによる効率的なガス回収法を検討するために, レーザ誘起蛍光法によりカーテン流の可視化計測を実施した.また, レーザトリガ型放電電極の基礎実験を実施した.
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会议论文
Development of Extreme Ultraviolet Radiation Source Using Laser Triggered Vacuum Spark Discharge Plasma
激光触发真空火花放电等离子体极紫外辐射源的研制
DOI： --
发表时间： 2009
期刊： DENSE Z-PINCHES Vol. 1088
影响因子： --
作者： [M. Watanabe, J. Yamada, Q. Zhu, E Hotta]
通讯作者： E Hotta
レーザトリガ型EUV放電光源の開発
激光触发EUV放电光源的研制
DOI： --
发表时间： 2008
期刊： 平成20年電気学会全国大会講演論文集 1
影响因子： --
作者： [渡辺正人, 岸望, 山田淳三郎, 堀田栄喜]
通讯作者： 堀田栄喜
Experimental Study of Xenon and Tin Discharge Produced Plasma EUV Light Source
氙和锡放电产生等离子体EUV光源的实验研究
DOI： --
发表时间： 2008
期刊： IEEE Conference Record, The 35th International Conference on Plasma Science
影响因子： --
作者： [M. Watanabe, N. Kishi, J. Yamada, O. Sakuchi, J. Fei, Q. Zhu, A. Okino, E. Hotta]
通讯作者： E. Hotta
Characteristics of extreme ultraviolet radiation from laser triggered vacuum spark discharge plasma
激光触发真空火花放电等离子体的极紫外辐射特性
DOI： --
发表时间： 2007
期刊： Bulletin of the American Physical Society 52
影响因子： --
作者： [Masato Watanabe, Nozomu Kishi, Eiki Hotta]
通讯作者： Eiki Hotta
共 6 条
    Pulsed electron beam generation and bacterial sterilization using secondary electron emission gun
    • 批准号：
      25420245
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.24万
    • 财政年份：
      2013
    • 负责人：
      WATANABE Masato
    • 依托单位：
      Tokyo Institute of Technology
    Study on Transport phenomena at supercritical mixure interface by moelcular velocity distribution function and mean field kinetic theory
    • 批准号：
      23656122
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.5万
    • 财政年份：
      2011
    • 负责人：
      WATANABE Masato
    • 依托单位：
      Hokkaido University
    Development of High Efficiency Gas Treatment System by Pulsed Electron Beam Irradiation
    • 批准号：
      17360122
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $9.02万
    • 财政年份：
      2005
    • 负责人：
      WATANABE Masato
    • 依托单位：
      Tokyo Institute of Technology
    High efficiency gas treatment using bi-directional pulse power system
    • 批准号：
      13555079
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $8.83万
    • 财政年份：
      2001
    • 负责人：
      WATANABE Masato
    • 依托单位：
      Tokyo Institute of Technology
    国内基金
    海外基金
    石墨烯/硅超表面集成EUV探测器设计及 制备工艺研究
    基于模式调制滤波方法的EUV光刻系统驱动光源波前探测与调控机理研究
    EUV光源驱动器用高效交叉弛豫Tm:LiYF4激光晶体性能优化研究
    自由电子激光光源下高数值孔径EUV光刻成像的快速仿真与性能优化研究
    • 批准号：
      --
    • 项目类别：
      面上项目
    • 资助金额：
      52万元
    • 批准年份：
      2022
    • 负责人：
      董立松
    • 依托单位：
      中国科学院微电子研究所