NSF EUV ERC RET in Engineering & Computer Science Site Program

NSF EUV ERC RET 工程

基本信息

  • 批准号:
    1301436
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 31.87万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    美国
  • 项目类别:
    Standard Grant
  • 财政年份:
    2014
  • 资助国家:
    美国
  • 起止时间:
    2014-02-01 至 2019-09-30
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

This award provides funding for a three year standard award to support a Research Experiences for Teachers (RET) in Engineering and Computer Science Site program at the Colorado State University (CSU) entitled, "NSF Center for Extreme Ultraviolet Science and Technology (EUV ERC): Research Experience for Teachers in Engineering and Computer Science Site Program", under the direction of Dr. Jorge J. Rocca. The focus of this RET Site program, which will be located at CSU, the University of Colorado, Boulder (CU), and the University of California, Berkeley (UC Berkeley) is to immerse teachers in research and engineering applications of Extreme Ultraviolet light (EUV), science and technology that includes; laser development and design, ultra-high resolution microscopy, metrology, lithography for the manufacture fabrication of the next generation of computer chips, as well as element- and chemically-specific materials fabrication for new nano-scale devices. Through participation in scientific and engineering research, teachers will gain new knowledge and insights into how scientific and engineering core concepts are applied to the design and creation of engineered systems. This new content knowledge will enable them modify and build new classroom curriculum. Few places in the world offer this unique research focus area in the EUV sciences. The collaborative ERC research model offers a unique opportunity for teachers to truly experience the benefits of collaboration and networking for sustainability. In this multi-institution research Center approach teachers gain experience in collaborative learning, research, and experimentation involving more people, resources, and research techniques than they would if they were contained at a single research site.The EUV Center is one of the few academic and research centers that exist in the world that can support the training of a new generation of STEM teachers (pre-service and high school) proficient in EUV science core concepts. This RET Site program builds on the strength of the existing infrastructure of the Center to offer world-class opportunities for teachers to gain research experience that will prepare them to teach and translate new learned content into the classroom. The RET site will improve STEM teaching and learning for a total of 30 teachers (10 per year for 3 years). The experiences will be reinforced and sustained by continued development and reflection during the academic year, with connections to all three Center sites. Each teacher participant will impact over 125 students in the school year following the RET, which means that each year approximately 1125 students will experience hands-on learning of optics, lasers, and EUV science and technology.
该奖项为三年标准奖提供资金,以支持科罗拉多州立大学(CSU)的工程和计算机科学教师研究经验(RET)项目,该项目名为“NSF极紫外线科学与技术中心(EUV ERC):工程和计算机科学教师研究经验项目”,由Jorge J. Rocca博士指导。这个可再生能源技术网站计划的重点,将设在科罗拉多州立大学,科罗拉多大学,博尔德(CU),和加州大学伯克利分校(加州大学伯克利分校)是沉浸在极端紫外线(EUV),科学和技术,包括研究和工程应用的教师;激光开发和设计、超高分辨率显微镜、计量学、用于制造下一代计算机芯片的光刻技术,以及用于新的纳米级器件的元素和化学特定材料的制造。通过参与科学和工程研究,教师将获得新的知识和见解,了解科学和工程的核心概念如何应用于工程系统的设计和创建。这些新的内容知识将使他们能够修改和建立新的课堂课程。世界上很少有地方在EUV科学中提供这种独特的研究重点领域。ERC合作研究模式为教师提供了一个独特的机会,让他们真正体验到合作和网络可持续发展的好处。在这种多机构研究中心的方法中,教师获得了协作学习,研究和实验的经验,涉及更多的人,资源,EUV中心是世界上为数不多的能够支持新一代STEM教师培训的学术和研究中心之一(职前和高中)精通EUV科学核心概念。该RET网站计划建立在该中心现有基础设施的基础上,为教师提供世界一流的机会,以获得研究经验,使他们能够教授和翻译新的学习内容到课堂上。可再生能源培训网站将为总共30名教师(每年10名,为期3年)改善STEM教学。这些经验将通过学年期间的持续发展和反思得到加强和维持,并与所有三个中心网站建立联系。每位教师参与者将在RET之后的学年影响超过125名学生,这意味着每年约有1125名学生将体验光学,激光和EUV科学技术的实践学习。

项目成果

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数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ patent.updateTime }}

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{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
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    {{ item.doi }}
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    {{ item.publish_year }}
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    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

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  • 资助金额:
    $ 31.87万
  • 项目类别:
    Standard Grant
{{ showInfoDetail.title }}

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知道了